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旋转磁控真空电弧离子镀技术

发布于:08-26


旋转磁控真空电弧离子镀(AIP)是一种先进的硬质层镀膜技术。与一般PVD不同之处是采用了柱状旋转磁控弧源靶,置于镀膜室中央,应用冷阴极真空弧放电原理,360度方向辐射镀膜。靶材利用率高,镀膜均匀区大,色差小,工艺重复性好。该装置还采用了脉冲偏压技术,实现了低温沉积(~200℃),从而扩大了基体材料和高性能镀层的范围,并可制备内应力较低和更厚的薄膜。??

利用该技术可以制备多种超硬涂层,如TiN、TiC、ZrN、CrN、TiCN、(Ti,Ai)N、AI2O3等,以及多层复合膜。这些镀层作为功能膜广泛用于工模具及零部件的耐磨层,同时这些镀层的不同装饰色也可以用于高档装饰膜。?


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